国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
B(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)
C23(5)
B32(4)
B82(4) H01(4) H05(3) G02(2) |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(5)![]() |
申请年 | 2013(4) |
专利权人 |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S