国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C01B032/186（2） C23C016/26（2）
发明人 LI C（2）
公开年 2020（2）
申请年
专利权人

Growing vertical graphene film comprises preparing substrate and depositing graphene film on substrate by hot filament chemical vapor deposition (CVD) method.

LI M, YANG Z, LI H, LI C, YANG B

Method of forming graphene on substrate, involves treating surface of substrate placed in reaction chamber with plasma, and growing graphene on surface of substrate by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD).

SHIN K, KIM C, YAMAMOTO K, LEE C, SONG H, LEE E, BYUN K, SHIN H, AN S, SHEN J, JIN C, SHAN B, LI C, SONG X, LI Y, BIAN Q, SHEN X, AN X, SHIN K W, LEE C S, SONG H J, BYUN K E, SHIN H J, AHN S J