国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2)
H01L029/786(2)
发明人 OKAI M(3)
公开年 2011(2)
申请年 2010(2) 
专利权人 OKAI M(3)