国家/地区 日本(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C01(2) H01(2)
IPC小类 C01B(2)
IPC C01B031/02(2) H01L021/336(2) H01L029/06(2)
H01L029/786(2)
发明人 OKAI M(2)
公开年 2011(2)
申请年
专利权人 WADA Y(2)