国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4) C01(4) H01(4)
IPC小类 B82Y(4)
IPC C01B032/15(4)
发明人 TODORIKI H(3) TODOROKI H(3) NOMOTO K(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(4)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3) TODORIKI H(3) NOMOTO K(2)