国家/地区 中国(5) 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C03(6)
IPC小类 C03B(6)
IPC C23C016/26(4) C01B031/02(2) C23C028/00(2)
H01L021/20(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人