国家/地区 | 中国(3) 日本(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C03(4)![]() |
IPC小类 |
C03B(4)![]() |
IPC |
C23C016/26(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
ZHANG J, YUAN G, LI Z, WANG J, ZHOU Y
BABUL T, OBUCHOWICZ Z, JONCZYK S, BARANOWSKI M, KONDEJ A