国家/地区 中国(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C04(4) H01(4) B82(3)
C01(3) B01(2) B32(2)
C23(2)
IPC小类 C04B(4)
IPC H01L021/02(4)
发明人
公开年 2015(2)
申请年
专利权人