国家/地区 |
中国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C04(4)
H01(4)
B82(3)
C01(3) B01(2) B32(2) C23(2) |
IPC小类 |
C04B(4)![]() |
IPC |
H01L021/02(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(2) |
申请年 | |
专利权人 |
YUNG K, LIEM H, CHOY H, LIN H, RONG J, CAI H