国家/地区 日本(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C04(3) H01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B032/194(2) C01B032/21(2) C04B037/02(2)
H01L023/36(2) H01L023/373(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2021(3)
专利权人 MITSUBISHI M.(2)