| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C01(2)
C07(2)
H01(2)
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| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C01B032/194(2)
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| 发明人 | YAMAKAJI M(2) |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB(2)
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