国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) C07(4) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/194(4)
发明人 YAMAKAJI M(2)
公开年 2013(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)