国家/地区 美国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C08(4)
IPC小类 C08G(4)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C23C016/26(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
H01L029/786(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2)
发明人
公开年 2015(2)
申请年
专利权人 FUJITSU LTD(2)