国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
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IPC大类 |
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B82Y030/00(2)
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C01B032/184(2)
C23C016/26(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2) H01L029/786(2) H01L051/05(2) H01L051/30(2) |
发明人 | |
公开年 | 2015(2) |
申请年 | |
专利权人 | FUJITSU LTD(2) |
DUAN B, DING H, LIU G, WANG Y, TANG Z, ZHANG M, WANG Q, HOU L, QIAN S
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S