国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)
B(2)
H(2)
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IPC大类 |
C08(3)![]() |
IPC小类 |
C09D(3)![]() |
IPC |
C23C014/35(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | |
专利权人 |
ZHANG G, LI X, XIA J, ZHU Z, WANG S
MA Z, ZHAN X, WANG Z, ZHAO Z, ZHU Y, CHEN J, LIU X, CHEN H