国家/地区 | 中国(3) 美国(3) |
IPC部 |
C(5)
B(3)
H(3)
|
IPC大类 |
C08(5)![]() |
IPC小类 |
C09D(5)![]() |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2023(2) |
申请年 | |
专利权人 |
ZHANG G, LI X, XIA J, ZHU Z, WANG S
GLASS H, GUINEY I, TYLER M, THOMAS S
JOH H, SON S Y, LEE S H, KIM T
DUAN B, DING H, LIU G, WANG Y, TANG Z, ZHANG M, WANG Q, HOU L, QIAN S