国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3) 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 印度(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C026/00(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人

YOO H, KIM J, JUNG Y, YOO H J, KIM J K, JUNG Y G, KIM J S, LIU H