国家/地区 |
美国(4)![]() |
IPC部 |
B(4)![]() |
IPC大类 |
C08(4)![]() |
IPC小类 |
C09D(4)![]() |
IPC |
H01L021/02(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2021(2) |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 |
ARNOLD M, JACOBBERGER R, NEALEY P, XIONG S, CHANG T, MA Z, NEALEY P F
GLASS H, GUINEY I, TYLER M, THOMAS S
LIN Y, LEE S, JHONG Y, ZHAMU A, JANG B Z, LI S
PAWLOSKI A R, BENNETT G S, CERNOHOUS J J, KASKE K, SZYMANSKI A E