国家/地区 |
美国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C09(3)
H01(3)
C08(2)
|
IPC小类 |
C09D(3)![]() |
IPC |
H01L021/02(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(3)![]() |
申请年 | 2020(3) |
专利权人 |
ARNOLD M, JACOBBERGER R, NEALEY P, XIONG S, CHANG T, MA Z, NEALEY P F
SHERWOOD G J, NELSON J T, SU Q, BUHLMANN P P J, ZHEN X, KOESTER S J