国家/地区 |
世界知识产权组织(2)![]() |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C09(2)![]() |
IPC小类 |
C09D(2)![]() |
IPC | G03F007/004(2) |
发明人 | |
公开年 |
2021(2)![]() |
申请年 | |
专利权人 |
ARNOLD M, JACOBBERGER R, NEALEY P, XIONG S, CHANG T, MA Z, NEALEY P F