国家/地区 日本(3) 美国(3) 中国(2) 台湾(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C25(3) H01(3)
B82(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/02(3)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2013(2)
申请年 2012(3)
专利权人 SEMICONDUCTO.(3)