国家/地区 日本(4) 美国(4) 中国(3) 德国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C23C026/00(4)
发明人
公开年 2013(2)
申请年
专利权人