国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6) C25(6) H01(6)
C01(4) C30(2)
IPC小类 C23C(6)
IPC C23C028/00(6)
发明人
公开年 2021(2)
申请年 2020(2) 
专利权人