国家/地区 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(3) H(2)
IPC大类 C23(3) C25(3) H01(2)
IPC小类 C23C(3)
IPC C23C028/00(3)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3)
专利权人