国家/地区 美国(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC H01L021/02(6)
发明人 GABEN F(2)
公开年 2016(2) 2021(2)
申请年 2016(2)  2020(2) 
专利权人