国家/地区 美国(3) 中国(2) 日本(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) C25(5) B32(3)
B82(3) H01(3)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/04(5)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2012(3) 2013(2)
申请年 2012(5)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)