国家/地区 |
日本(4)![]() |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C026/00(4)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | |
专利权人 |
YE N, KUBO T, SHIMIZU T
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
TAKAHASHI M, SAITO Y, MOMO J, MORIWAKA T, KUSUMOTO N, MORIWAKA K, YONEDA Y