国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) C25(5) H01(5)
C01(4) B82(2)
IPC小类 C23C(5)
IPC C23C026/00(5)
发明人 KUBO T(2) SHIMIZU T(2) YE N(2)
公开年 2013(2) 2021(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 YAZAKI CORP(2)