国家/地区 中国(3) 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C04(4)
IPC小类 C04B(4)
IPC C04B035/571(2) C04B035/80(2) C25D013/02(2)
C25D015/00(2) H01L021/02(2)
发明人 CHEN Z(2)
公开年 2021(3)
申请年 2020(4)
专利权人