国家/地区 中国(4) 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C04(5)
IPC小类 C04B(5)
IPC C23C018/12(2) C25D013/02(2) C25D015/00(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(3)  2021(2) 
专利权人