国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C25(5)
IPC小类 C25D(5)
IPC C01B031/04(3) C23C016/26(3) C23C028/00(3)
C30B029/02(3) B82Y040/00(2) C01B031/02(2)
C25D011/02(2) C30B025/02(2) C30B025/18(2)
C30B033/00(2) H01L021/02(2)
发明人 VEERASAMY V S(2)
公开年
申请年
专利权人 GUARDIAN IND.(2)