国家/地区 欧洲专利局(EPO)(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B05(3)
IPC小类 B05D(3)
IPC B05D005/12(2) B82Y030/00(2) B82Y040/00(2)
C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人