| 国家/地区 |
日本(4)
|
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(4)
|
| IPC大类 |
B05(4)
|
| IPC小类 |
B05D(4)
|
| IPC |
B05D005/12(3)
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
B01J037/02(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2) C01B032/194(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
YAMADA A, MIKOSHIBA S, ONO A, KUDO Y, TAMURA J, KITAGAWA R, TSUTSUMI E, YAMAGIWA M, SUGANO Y, MOTOSHIGE A, KANNO Y, TAMURA A
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
