国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B05(4)
IPC小类 B05D(4)
IPC B05D005/12(3) B82Y030/00(3) B82Y040/00(3)
B01J037/02(2) C01B031/02(2) C01B031/04(2)
C01B032/194(2) C23C016/56(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年
申请年
专利权人