| 国家/地区 |
美国(3)
|
| IPC部 |
C(3)
G(2)
H(2)
|
| IPC大类 |
C23(3)
|
| IPC小类 |
C23C(3)
|
| IPC |
C23C028/04(3)
|
| 发明人 | |
| 公开年 | 2021(2) |
| 申请年 | 2020(2) |
| 专利权人 |
KUBO T, SEKI K, OKADA M, HATAKEYAMA K, KOGA K, SHIMIZU T, YE N, KAWAI H, KAWAI Y, GUAN H
WU K, CHANG C H, CHEN Y Y
