国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4) H(2)
IPC大类 C23(4) C25(4) H01(2)
IPC小类 C23C(4)
IPC C23C028/02(4)
发明人
公开年 2023(4)
申请年 2022(2)  2023(2) 
专利权人