国家/地区 日本(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C01(5) C25(5) H01(4)
B82(3) B01(2) B32(2)
C23(2) C30(2)
IPC小类 C01B(5)
IPC C01B031/02(5)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)