国家/地区 美国（2）
IPC部 B（2）
IPC大类 B82（2）
IPC小类 B82B（2）
IPC C30B025/18（2） H01L021/02（2） H01L029/06（2）
H01L029/16（2） H01L029/778（2）
发明人
公开年 2013（2）
申请年 2012（2）
专利权人

Epitaxial structure comprises substrate having patterned epitaxial growth surface defining grooves, graphene layer covering patterned epitaxial growth surface, and epitaxial layer on patterned epitaxial growth surface.

WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y

Forming cleaned nanotube-graphene hybrid thin film on a substrate, comprises depositing the nanotube thin-film over a substrate to produce a layer of nanotube thin-film, and removing impurities from surface of layer of nanotube thin-film.

BOL A A, CHANDRA B, KASRY A, MAAROUF A, MARTYNA G J, TULEVSKI G S