国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C30(3) H01(2)
IPC小类 C30B(3)
IPC C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01L021/205(2)
发明人 ZHANG J(3)
公开年 2013(3)
申请年 2012(3)
专利权人 UNIV XIDIAN(3)