国家/地区 美国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B82(3)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2012(3)
申请年 2012(2) 
专利权人