国家/地区 欧洲专利局(EPO)(2)
IPC部 B(2)
IPC大类 B82(2)
IPC小类 B82Y(2)
IPC B82Y030/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C30B029/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2018(2)
申请年 2017(2) 
专利权人