国家/地区 中国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C30B025/18(3) C23C014/06(2) C23C014/34(2)
C23C016/02(2) C23C016/26(2) C23C028/00(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(3)
申请年 2016(3) 
专利权人