国家/地区 |
中国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)![]() |
IPC |
C30B025/18(3)
C23C014/06(2)
C23C014/34(2)
C23C016/02(2) C23C016/26(2) C23C028/00(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 |
2016(3)![]() |
申请年 | 2016(3) |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z