| 国家/地区 | 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 | B(2) C(2) |
| IPC大类 |
B32(2)
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| IPC小类 |
B32B(2)
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| IPC | C23C016/26(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 |
2016(2)
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| 专利权人 |
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
