国家/地区 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3)
IPC B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C30B029/02(2)
H01L021/02(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年 2011(3)
申请年 2009(3)
专利权人