| 国家/地区 | 英国(2) |
| IPC部 | C(2) H(2) |
| IPC大类 |
C01(2)
|
| IPC小类 |
C01B(2)
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| IPC |
C01B032/186(2)
C23C016/26(2)
C30B025/18(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2) |
| 发明人 |
THOMAS S(2)
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| 公开年 | |
| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 | PARAGRAF LTD(2) |
GRIFFIN R M, THOMAS S, GUINEY I, DIXON S
