国家/地区 美国(3) 世界知识产权组织(3) 加拿大(2) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3)
IPC C01B032/186(2) C23C016/04(2) C30B029/02(2)
发明人
公开年 2021(3)
申请年 2020(3)
专利权人