国家/地区 | 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 新加坡(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C23C016/26(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 |
2013(2)![]() |
专利权人 |
LOH K P, ZHANG K, CASTRO A H, LOH K