国家/地区 中国（2）
IPC部 G（2） H（2）
IPC大类 G01（2） H01（2）
IPC小类 G01J（2）
IPC G01J005/20（2）
发明人 DU C（2）
公开年 2016（2）
申请年 2015（2）
专利权人 CHINESE ACAD.（2）

Graphene micro bolometer, has silicon substrate provided with semiconductor silicon chip, where silicon substrate is formed with air holes, and suspension support layer formed with rectangular blind hole.

YANG J, TANG L, FENG S, WEI X, SHI H, DU C

Graphene-based micro-metering heat radiation measuring instrument, has semiconductor silicon chip formed with silicon substrate that is formed with hanging hole, and hanging support layer whose upper surface is formed with air placing hole.

DU C, FENG S, SHI H, YANG J, WEI X, TANG L