国家/地区 韩国（2）
IPC部 C（3）
IPC大类 G02（3） C23（2）
IPC小类 G02B（3）
IPC C23C016/26（2） C23C016/505（2） G02B005/22（2）
发明人 JAI L H（2） SHIM W P（2） YOOK J（2）
YOON S Y（2）
公开年 2022（3）
申请年 2020（3）
专利权人 TES CO LTD（2）

Graphene oxide complex for piezoelectric device, which is mixture of cubic and hexagonal phased reduced graphene oxide, graphene layer and cadmium sulfide with nanogates.

LUWANG M N, KUMAR P, RAM F, SHANMUGANATHAN K

Depositing thin film, comprises depositing graphene oxide film on first surface of substrate, and depositing first haze film on graphene oxide layer.

YOON S Y, YOOK J, JAI L H, SHIM W P

Depositing thin film, comprises preparing mixture of cyclohexanone and graphene oxide, supplying the mixture into chamber, and depositing thin film using plasma enhanced chemical vapor deposition by providing radio frequency power.

YOON S Y, YOOK J, JAI L H, SHIM W P