国家/地区 |
美国(3)![]() |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C016/26(3)
B32B037/00(2)
B32B037/24(2)
B32B038/10(2) G02B005/20(2) G02F001/1343(2) |
发明人 | LEE K(2) WANG Y(2) |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 | SHENZHEN CHI.(2) |
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H