国家/地区 韩国(4) 美国(4)
IPC部 C(4) H(4) B(2)
IPC大类 C23(4) H01(4) C01(3)
B05(2) B32(2) B82(2)
IPC小类 C23C(4)
IPC C23C016/26(4)
发明人 KIM S O(2) LEE D H(2)
公开年
申请年 2013(2) 
专利权人 KOREA ADVANCED INST SCI TECHNOLOGY(4)